кремниевая наноэлектроника охлаждения

оптические датчики на основе интерферометров Фабри-Перо и кристаллов с фотонной запрещенной зоной;

датчики силы на основе кремниевых тензопреобразователей;

датчики разряжение-давление для измерения малых давлений и высоких давлений;

датчики избыточного и абсолютного давления;

СКБ «Сенсорные системы» НОЦ «Нанотехнологические системы и наноэлектроника» кафедры «Проектирование и технология производства ЭА» МГТУ им.Н.Э.Баумана выпускает линейки сенсорных систем:

Информационные технологии и САПР

Проектирование электроники

Кафедра ИУ4 МГТУ им.Н.Э.Баумана